[发明专利]用于丝网印刷的设备和方法无效
| 申请号： | 201210268154.X | 申请日： | 2012-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN103568505A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 王瑞萍;钟声德;常翔 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | B41F15/12 | 分类号： | B41F15/12;B41M1/12 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明涉及用于丝网印刷的设备和方法。具体而言，本发明涉及用于通过丝网印刷在衬底上沉积图案化层的设备和方法。该设备包括：衬底支撑，其上支撑衬底；丝网，其布置在衬底支撑上方，并在丝网与衬底支撑之间具有空间；印刷刮条，其用于将压力施加到丝网上，使得印刷材料扩散到丝网上并转印到衬底上，以形成图案化层；以及气体吹送器，其包括气体源和与气体源连接的出口部分。在丝网印刷的工艺处理期间，气体吹送器朝向丝网与衬底支撑之间的空间吹送气体，从而在该空间内造成气流，由此提高图案的精确性而不会显著增加工艺的成本和复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 丝网 印刷 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于通过丝网印刷在衬底上沉积图案化层的设备，包括：衬底支撑，其上支撑所述衬底；丝网，其布置在所述衬底支撑上方，并在所述丝网与所述衬底支撑之间具有空间；印刷刮条，其用于将压力施加到所述丝网上，使得印刷材料扩散到所述丝网上并转印到所述衬底上，以形成所述图案化层；以及气体吹送器，其包括气体源和与所述气体源连接的出口部分，所述气体吹送器用于朝向所述丝网与所述衬底支撑之间的所述空间吹送气体，从而在所述空间内造成气流。
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