[发明专利]用于丝网印刷的设备和方法

权利要求书

1.一种用于通过丝网印刷在衬底上沉积图案化层的设备，包括：

衬底支撑，其上支撑所述衬底；

丝网，其布置在所述衬底支撑上方，并在所述丝网与所述衬底支撑之间具有空间；

印刷刮条，其用于将压力施加到所述丝网上，使得印刷材料扩散到所述丝网上并转印到所述衬底上，以形成所述图案化层；以及

气体吹送器，其包括气体源和与所述气体源连接的出口部分，所述气体吹送器用于朝向所述丝网与所述衬底支撑之间的所述空间吹送气体，从而在所述空间内造成气流。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，

所述出口部分在与所述衬底支撑的用于支撑所述衬底的支撑表面垂直的方向上布置在所述丝网与所述衬底支撑之间，并在与所述支撑表面平行的方向上与所述衬底支撑和所述丝网间隔开。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其中，

所述出口部分是具有至少一个开口的分配单元。

4.根据权利要求1或2所述的设备，其中，

所述出口部分包括至少一个喷嘴。

5.根据权利要求1所述的设备，其中，

从所述气体源供应的气体从由以下气体组成的群组中选择：空气，氮气，惰性气体，以及对于所述丝网、所述衬底和所述印刷材料基本不活泼的其他气体。

6.根据权利要求1所述的设备，其中，

从所述气体源供应的气体是压缩空气。

7.根据权利要求1所述的设备，其中，

所述气体源从由压缩空气罐、空气压缩机和风扇组成的群组中选择。

8.根据权利要求1所述的设备，其中，

所述出口部分沿着与所述丝网基本平行的方向吹送气体。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，

所述出口部分沿着与所述丝网形成的角度不大于45度的方向吹送气体。

10.一种用于通过丝网印刷在衬底上沉积图案化层的方法，包括以下步骤：

将衬底布置在衬底支撑上，丝网布置在所述衬底支撑上方，并且在所述丝网与所述衬底支撑之间具有空间；

通过经由印刷刮条将压力施加到所述丝网，使得印刷材料扩散到所述丝网上并转印到所述衬底上，来形成所述图案化层；

朝向所述丝网与所述衬底支撑之间的空间吹送气体，以在所述空间中造成气流；并且

从所述衬底支撑取出经过处理得到的所述衬底。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，

吹送气体的步骤通过吹送从由以下气体组成的群组中选择的气体来执行：空气，氮气，惰性气体，以及对于所述丝网、所述衬底和所述印刷材料基本不活泼的其他气体。

12.根据权利要求10所述的方法，其中，

吹送气体的步骤通过吹送压缩空气来执行。

13.根据权利要求10所述的方法，其中，

吹送空气的步骤在执行所述方法期间持续地执行。

14.根据权利要求10所述的方法，其中，

吹送空气的步骤以沿着与所述丝网基本平行的方向吹送气体的方式执行。

15.根据权利要求10所述的方法，其中，

吹送空气的步骤以沿着与所述丝网形成的角度不大于45度的方向吹送气体的方式执行。