[发明专利]薄膜晶体管基板及其制造方法和包括该基板的显示器有效
| 申请号： | 201210259588.3 | 申请日： | 2012-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN103579355A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 周政旭 | 申请（专利权）人： | 群康科技(深圳)有限公司;奇美电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/45;H01L21/77 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种薄膜晶体管基板及其制造方法和包括该基板的显示器，该薄膜晶体管基板包括基板及多个薄膜晶体管。所述多个薄膜晶体管包括第一电极层、第一绝缘层、氧化物半导体层、第二电极层及第二绝缘层。第一电极层形成于基板上，其包括栅极部。第一绝缘层覆盖第一电极层。氧化物半导体层形成于第一绝缘层上。第二电极层形成于氧化物半导体层上，其包括源极部及漏极部位于对应栅极部的两端，源极部及漏极部之间具有第一间隔。第二绝缘层覆盖氧化物半导体层与第二电极层。其中，第二电极层的边缘位于氧化物半导体层边缘之内，第二电极层包括铜。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 包括 显示器 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管基板，其特征在于，所述薄膜晶体管基板包括：基板；第一电极层，位于所述基板上，包括栅极部；第一绝缘层，覆盖所述第一电极层；氧化物半导体层，位于所述第一绝缘层上；以及第二电极层，位于所述氧化物半导体层上，包括源极部及漏极部，所述源极部及所述漏极部位于与所述栅极部相对应的两端；其中，所述第二电极层的边缘位于所述氧化物半导体层的边缘内。
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