[发明专利]薄膜晶体管基板及其制造方法和包括该基板的显示器有效

专利信息
申请号: 201210259588.3 申请日: 2012-07-25
公开(公告)号: CN103579355A 公开(公告)日: 2014-02-12
发明(设计)人: 周政旭 申请(专利权)人: 群康科技(深圳)有限公司;奇美电子股份有限公司
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L29/45;H01L21/77
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 余刚;吴孟秋
地址: 518109 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 薄膜晶体管 及其 制造 方法 包括 显示器
【权利要求书】:

1.一种薄膜晶体管基板,其特征在于,所述薄膜晶体管基板包括:

基板;

第一电极层,位于所述基板上,包括栅极部;

第一绝缘层,覆盖所述第一电极层;

氧化物半导体层,位于所述第一绝缘层上;以及

第二电极层,位于所述氧化物半导体层上,包括源极部及漏极部,所述源极部及所述漏极部位于与所述栅极部相对应的两端;

其中,所述第二电极层的边缘位于所述氧化物半导体层的边缘内。

2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述氧化物半导体层整面覆盖所述第一绝缘层。

3.根据权利要求1所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述氧化物半导体层包括第二间隔。

4.根据权利要求1所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述氧化物半导体层为ZnO、IZO、IGZO、ITZO、ATZO、HIZO的其中一种或其组合。

5.根据权利要求1所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述第二电极层的材料为单层铜。

6.根据权利要求1所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述薄膜晶体管基板还包括蚀刻停止层,所述蚀刻停止层位于所述氧化物半导体层的上方。

7.根据权利要求1所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述薄膜晶体管基板还包括第二绝缘层,所述第二绝缘层覆盖所述第二电极层与所述氧化物半导体层。

8.根据权利要求7所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述第二绝缘层具有接触孔洞,所述接触孔洞与所述源极部相对。

9.根据权利要求8所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述第二绝缘层上具有像素电极层,所述像素电极层经由所述接触孔洞往下延伸而电性连接所述源极部。

10.一种显示器,其特征在于,所述显示器包括:

驱动电路;

外观件;以及

显示面板,包括薄膜晶体管基板,所述薄膜晶体管基板,包括:

基板;

第一电极层,位于所述基板上,包括栅极部;

第一绝缘层,覆盖所述第一电极层;

氧化物半导体层,位于所述第一绝缘层上;以及

第二电极层,位于所述氧化物半导体层上,包括源极部及漏极部,所述源极部及所述漏极部位于与所述栅极部相对应的两端;

其中,所述第二电极层的边缘位于所述氧化物半导体层的边缘内。

11.根据权利要求10所述的显示器,其特征在于,所述氧化物半导体层整面覆盖所述第一绝缘层。

12.根据权利要求10所述的显示器,其特征在于,所述氧化物半导体层包括第二间隔。

13.根据权利要求10所述的显示器,其特征在于,所述氧化物半导体层为ZnO、IZO、IGZO、ITZO、ATZO、HIZO的其中之一或其组合。

14.根据权利要求10所述的显示器,其特征在于,所述第二电极层的材料为铜。

15.根据权利要求10所述的显示器,其特征在于,所述薄膜晶体管基板还包括蚀刻停止层,所述蚀刻停止层位于所述氧化物半导体层上。

16.根据权利要求10所述的显示器,其特征在于,所述薄膜晶体管基板还包括第二绝缘层,所述第二绝缘层覆盖所述第二电极层与所述氧化物半导体层。

17.根据权利要求16所述的显示器,其特征在于,所述第二绝缘保护层具有接触孔洞,所述接触孔洞与所述源极部相对。

18.根据权利要求17所述的显示器,其特征在于,所述第二绝缘层上具有像素电极层,所述像素电极层经由所述接触孔洞往下延伸而电性连接所述源极部。

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