[发明专利]薄膜晶体管基板及其制造方法和包括该基板的显示器有效
| 申请号: | 201210259588.3 | 申请日: | 2012-07-25 |
| 公开(公告)号: | CN103579355A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
| 发明(设计)人: | 周政旭 | 申请(专利权)人: | 群康科技(深圳)有限公司;奇美电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/45;H01L21/77 |
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
| 地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 包括 显示器 | ||
1.一种薄膜晶体管基板,其特征在于,所述薄膜晶体管基板包括:
基板;
第一电极层,位于所述基板上,包括栅极部;
第一绝缘层,覆盖所述第一电极层;
氧化物半导体层,位于所述第一绝缘层上;以及
第二电极层,位于所述氧化物半导体层上,包括源极部及漏极部,所述源极部及所述漏极部位于与所述栅极部相对应的两端;
其中,所述第二电极层的边缘位于所述氧化物半导体层的边缘内。
2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述氧化物半导体层整面覆盖所述第一绝缘层。
3.根据权利要求1所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述氧化物半导体层包括第二间隔。
4.根据权利要求1所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述氧化物半导体层为ZnO、IZO、IGZO、ITZO、ATZO、HIZO的其中一种或其组合。
5.根据权利要求1所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述第二电极层的材料为单层铜。
6.根据权利要求1所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述薄膜晶体管基板还包括蚀刻停止层,所述蚀刻停止层位于所述氧化物半导体层的上方。
7.根据权利要求1所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述薄膜晶体管基板还包括第二绝缘层,所述第二绝缘层覆盖所述第二电极层与所述氧化物半导体层。
8.根据权利要求7所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述第二绝缘层具有接触孔洞,所述接触孔洞与所述源极部相对。
9.根据权利要求8所述的薄膜晶体管基板,其特征在于,所述第二绝缘层上具有像素电极层,所述像素电极层经由所述接触孔洞往下延伸而电性连接所述源极部。
10.一种显示器,其特征在于,所述显示器包括:
驱动电路;
外观件;以及
显示面板,包括薄膜晶体管基板,所述薄膜晶体管基板,包括:
基板;
第一电极层,位于所述基板上,包括栅极部;
第一绝缘层,覆盖所述第一电极层;
氧化物半导体层,位于所述第一绝缘层上;以及
第二电极层,位于所述氧化物半导体层上,包括源极部及漏极部,所述源极部及所述漏极部位于与所述栅极部相对应的两端;
其中,所述第二电极层的边缘位于所述氧化物半导体层的边缘内。
11.根据权利要求10所述的显示器,其特征在于,所述氧化物半导体层整面覆盖所述第一绝缘层。
12.根据权利要求10所述的显示器,其特征在于,所述氧化物半导体层包括第二间隔。
13.根据权利要求10所述的显示器,其特征在于,所述氧化物半导体层为ZnO、IZO、IGZO、ITZO、ATZO、HIZO的其中之一或其组合。
14.根据权利要求10所述的显示器,其特征在于,所述第二电极层的材料为铜。
15.根据权利要求10所述的显示器,其特征在于,所述薄膜晶体管基板还包括蚀刻停止层,所述蚀刻停止层位于所述氧化物半导体层上。
16.根据权利要求10所述的显示器,其特征在于,所述薄膜晶体管基板还包括第二绝缘层,所述第二绝缘层覆盖所述第二电极层与所述氧化物半导体层。
17.根据权利要求16所述的显示器,其特征在于,所述第二绝缘保护层具有接触孔洞,所述接触孔洞与所述源极部相对。
18.根据权利要求17所述的显示器,其特征在于,所述第二绝缘层上具有像素电极层,所述像素电极层经由所述接触孔洞往下延伸而电性连接所述源极部。
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