[发明专利]直立式沉积炉管

摘要

一种直立式沉积炉管，包括：外管、多分支腔体、气体输入管、尾气排出管和保温层；所述外管的一端具有开口，另一端封闭；所述多分支腔体与所述外管具有开口的一端连接，所述多分支腔体的侧壁上设置有安装通孔，用于安装所述气体输入管和尾气排出管；所述保温层位于所述多分支腔体的内壁上，所述保温层上设置有与所述安装通孔相对应的孔洞，适于所述气体输入管和尾气排出管通过所述安装通孔和孔洞延伸至所述气体反应腔。本发明通过在多分支腔体内壁上设置保温层来提高直立式沉积炉管的保温性，进而提高通过直立式沉积炉管所形成薄膜的均匀性。

主权项

一种直立式沉积炉管，包括外管、多分支腔体、气体输入管以及尾气排出管；所述外管的一端具有开口，另一端封闭；所述多分支腔体与所述外管具有开口的一端连接，且所述多分支腔体的侧壁上设置有安装通孔，用于安装所述气体输入管和尾气排出管；其特征在于，还包括：位于所述多分支腔体的内壁上的保温层，所述保温层上设置有与所述安装通孔相对应的孔洞，适于所述气体输入管和尾气排出管通过所述安装通孔和孔洞延伸至所述气体反应腔。