[发明专利]直立式沉积炉管

权利要求书

1.一种直立式沉积炉管，包括外管、多分支腔体、气体输入管以及尾气排出管；所述外管的一端具有开口，另一端封闭；所述多分支腔体与所述外管具有开口的一端连接，且所述多分支腔体的侧壁上设置有安装通孔，用于安装所述气体输入管和尾气排出管；

其特征在于，还包括：位于所述多分支腔体的内壁上的保温层，所述保温层上设置有与所述安装通孔相对应的孔洞，适于所述气体输入管和尾气排出管通过所述安装通孔和孔洞延伸至所述气体反应腔。

2.如权利要求1所述的直立式沉积炉管，其特征在于，所述保温层的材质为二氧化硅。

3.如权利要求1或2所述的直立式沉积炉管，其特征在于，所述保温层的厚度为3～4mm。

4.如权利要求1所述的直立式沉积炉管，其特征在于，所述多分支腔体的材质为不锈钢。

5.如权利要求1所述的直立式沉积炉管，其特征在于，所述安装通孔的延伸方向垂直于所述多分支腔体的侧壁。

6.如权利要求5所述的直立式沉积炉管，其特征在于，所述孔洞的延伸方向垂直于所述保温层的侧壁。

7.如权利要求1所述的直立式沉积炉管，其特征在于，所述安装通孔的形状呈圆形或半圆形。

8.如权利要求7所述的直立式沉积炉管，其特征在于，所述孔洞的形状与其相对应的安装孔洞的形状相同。

9.如权利要求1所述的直立式沉积炉管，其特征在于，所述直立式沉积炉管还包括：气体反应腔、内管、晶舟以及基座，所述内管套于所述外管内，所述内管的两端具有开口；所述晶舟用于承载晶圆；所述基座位于所述晶舟下方，用于支撑晶舟以及与所述外管和多分支腔体构成气体反应腔。

10.如权利要求9所述的直立式沉积炉管，其特征在于，所述内管的材质为二氧化硅。