[发明专利]厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法

摘要

本发明涉及一种厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法，包括如下步骤：制作2N个原始基片并对其进行清洗处理；在原始基片上光刻出所需掩膜图形，然后沉积薄膜材料，剥离光刻胶，形成膜层结构；在基底上光刻出掩蔽图形，并沉积一层厚度小于h的膜层；分别将前N个倒置的带结构基片定位在基底特定位置上，并固定在一起，形成多级微反射镜；在多级微反射镜上表面沉积增反射膜层。本发明有效提高了阶梯表面粗糙度的控制精度，且阶梯垂直高度的实时监测，使得横向尺寸精度高，工艺可控性强。

主权项

一种厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：利用沉积膜层的方法在多个基片上形成具有相同标记图案的膜层台阶，相邻基片上的所述膜层台阶的高度等差递增；步骤2：利用沉积膜层的方法在基底上形成多个并列设置的条状膜层结构；该条状膜层结构与基片上的标记图案互补，所述基片上的膜层台阶可以插接在任意一个条状膜层结构上；步骤3：按照所述基片上的膜层台阶的高度的不同，按照从低到高的次序，将所述基片并列的插接在所述基底上；多个所述基片的与膜层台阶相对的一面形成台阶结构；步骤4：在台阶结构的表面沉积增反射膜和保护膜。