[发明专利]正型光阻清洗剂组合物有效
| 申请号： | 201210247560.8 | 申请日： | 2012-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN103383530A | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 张峰 | 申请（专利权）人： | 张峰 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315171 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种正型光阻清洗剂组合物，它包括：a)1-20重量份的N，N-二乙基羟胺；b)1-70重量份的二甘醇单烷基醚；c)1-5重量份的[式1]所示的化合物；d)1-5重量份的[式2]所示的化合物； |
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| 搜索关键词： | 正型光阻清 洗剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种正型光阻清洗剂组合物，其特征在于包括：a)1-20重量份的N，N-二乙基羟胺；b)1-70重量份的二甘醇单烷基醚；c)1-5重量份的[式1]所示的化合物；d)1-5重量份的[式2]所示的化合物；![]()
[式1]，上述化学式中，R1、R2分别独立或同时表示直链或支链上的C1-C5的烷基、烯丙基、C1-C5的烷基氨基、C1-C5的羟烷基、或C1-C5的烷基苯基，![]()
[式2]。
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