[发明专利]聚合物组合物以及包含所述聚合物的光刻胶

摘要

一种聚合物组合物以及包含所述聚合物的光刻胶。一种共聚物，其包含式(I)所示碱溶性单体和可与式(I)所示碱溶性单体共聚的其他单体的聚合产物：其中，R^a是H、F、C_1-10烷基、或C_1-10氟烷基，L₁是m价的C_2-30亚烷基、C_3-30亚环烷基、C_6-30亚芳基、C_7-30亚芳烷基基团，X₁独立地是碱溶性有机基团，其包含β-二酮、β-酯-酮、β-二酯或包含上述至少一种的组合。

主权项

1.一种共聚物，其包含式(I)所示的碱溶性单体和可与式(I)所示碱溶性单体共聚的其他单体的聚合产物：其中：R^a是H、F、C_1-10烷基、或C_1-10氟烷基，L₁是m价的C_2-30亚烷基、C_3-30亚环烷基、C_6-30亚芳基、C_7-30亚芳烷基基团；X₁独立地是一种碱溶性有机基团，其包含β-二酮、β-酯-酮、β-二酯或包含上述至少一种的组合。