[发明专利]聚合物组合物以及包含所述聚合物的光刻胶在审
| 申请号： | 201210242995.3 | 申请日： | 2012-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN102796223A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | G·P·普洛科泊维兹;G·波勒斯;李明琦;C·吴;刘骢;C·徐 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C08F222/14 | 分类号： | C08F222/14;C08F222/20;G03F7/004;G03F7/09 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 江磊 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚合物 组合 以及 包含 光刻 | ||
1.一种共聚物，其包含式(I)所示的碱溶性单体和可与式(I)所示碱溶性单体共聚的其他单体的聚合产物：
其中：
Ra是H、F、C1-10烷基、或C1-10氟烷基，
L1是m价的C2-30亚烷基、C3-30亚环烷基、C6-30亚芳基、C7-30亚芳烷基基团；X1独立地是一种碱溶性有机基团，其包含β-二酮、β-酯-酮、β-二酯或包含上述至少一种的组合。
2.如权利要求1所述的共聚物，其特征在于，每个X1独立地是：
其中，X2是O或单键，并且Rb是C1-20烷基、C1-20氟烷基、C3-20环烷基、C6-20芳基、C7-20芳烷基，或包含上述至少一种的组合。
3.如权利要求1所述的共聚物，其特征在于，所述碱溶性单体为式(II)所示单体：
Ra是H、F、C1-6烷基，或CF3；
L2是m价的C2-30亚烷基、C3-30亚环烷基，C6-30亚芳基，C7-30亚芳烷基基团，
n是1或2，并且
Rb是C1-20烷基、C1-20氟烷基，C3-20环烷基，C6-20芳基，C7-20芳烷基，或包含上述至少一种的组合。
4.如权利要求1所述的共聚物，其特征在于，所述碱溶性单体是：
或包含上述至少一种的组合，其中
Ra是H、F、C1-6烷基，或CF3；
X2是O或单键，并且
Rb是C1-20烷基、C1-20氟烷基，C3-20环烷基，C6-20芳基，C7-20芳烷基，或包含上述至少一种的组合。
5.如权利要求1所述的共聚物，其特征在于，所述其他单体是含有可酸脱保护的碱溶性基团的(甲基)丙烯酸酯单体、含有内酯官能团的(甲基)丙烯酸酯单体、含有不同于式(I)中碱溶性基团的碱溶性基团的(甲基)丙烯酸酯单体，或包含至少一种上述单体的组合。
6.如权利要求5所述的共聚物，其特征在于，所述可酸脱保护的单体包括：
或包含至少一种上述单体的组合，其中Ra是H、F、C1-10烷基，或C1-10氟烷基。
7.如权利要求5所述的共聚物，其特征在于，所述含有内酯的单体包含：
或包含至少一种上述单体的组合，其中Ra是H、F、C1-10烷基，或C1-10氟烷基。
8.如权利要求5所述的共聚物，其特征在于，所述其他碱溶性(甲基)丙烯酸酯单体包括：
或包含至少一种上述单体的组合，
其中Ra是H、F、C1-10烷基，或C1-10氟烷基，并且Rc是C1-4全氟化烷基基团。
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