[发明专利]感光性树脂组合物有效

专利信息
申请号: 201210232353.5 申请日: 2012-07-05
公开(公告)号: CN102866584B 公开(公告)日: 2019-05-28
发明(设计)人: 松浦龙一;河西裕 申请(专利权)人: 住友化学株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/027;G03F7/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 蒋亭
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明为一种感光性树脂组合物,其包含树脂、聚合性化合物及聚合引发剂,其中,树脂为具有来自选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种的结构单元的聚合物,聚合引发剂包含式(1)表示的化合物。[式(1)中,Ra1及Ra2表示Ra11、ORa11、CORa11、SRa11、CONRa12Ra13或CN,Ra11、Ra12及Ra13表示氢原子或碳数1~20的烷基等,Ra3及Ra4表示Ra11等,s及t表示0~4的整数,L表示氧原子、硫原子、硒原子、CRa31Ra32、CO、NRa33或PRa34,Ra5表示羟基或羧基等。]。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其包含树脂、聚合性化合物及聚合引发剂,其中,树脂为具有来自选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种的结构单元、以及来自含有碳数2~4的环状醚结构和乙烯性不饱和键的单体的结构单元的共聚物,聚合引发剂包含式(4)表示的化合物,该式(4)表示的化合物相对于聚合引发剂的总量为30~100质量%,式(4)中,Ra51及Ra52分别独立地表示碳数1~20的烷基,Ra53表示羟基、羧基或式(5)表示的基团,Ra54‑L12‑L11‑    (5)式(5)中,L11表示‑O‑或*‑OCO‑,*表示与L12的结合键,L12表示碳数1~20的亚烷基,该亚烷基可以被1~3个‑O‑中断,Ra54表示ORa55或COORa55,Ra55表示氢原子或碳数1~6的烷基。
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