[发明专利]感光性树脂组合物有效

专利信息
申请号: 201210232353.5 申请日: 2012-07-05
公开(公告)号: CN102866584B 公开(公告)日: 2019-05-28
发明(设计)人: 松浦龙一;河西裕 申请(专利权)人: 住友化学株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/027;G03F7/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 蒋亭
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 感光性 树脂 组合
【说明书】:

发明为一种感光性树脂组合物,其包含树脂、聚合性化合物及聚合引发剂,其中,树脂为具有来自选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种的结构单元的聚合物,聚合引发剂包含式(1)表示的化合物。[式(1)中,Ra1及Ra2表示Ra11、ORa11、CORa11、SRa11、CONRa12Ra13或CN,Ra11、Ra12及Ra13表示氢原子或碳数1~20的烷基等,Ra3及Ra4表示Ra11等,s及t表示0~4的整数,L表示氧原子、硫原子、硒原子、CRa31Ra32、CO、NRa33或PRa34,Ra5表示羟基或羧基等。]。

技术领域

本发明涉及一种感光性树脂组合物。

背景技术

在近年来的液晶显示面板等中,为了形成光间隙材及外涂层,可使用感光性树脂组合物。作为这种感光性树脂组合物,已知有含有作为聚合引发剂的N-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亚胺的组合物(JP2008-181087-A)。

但是,在以往所提出的感光性树脂组合物中,所得的图案的宽度的曝光量依赖性(曝光边界(Exposure margin))有时不一定能够充分地满足。

发明内容

本发明包含以下的发明。

[1]一种感光性树脂组合物,其包含树脂、聚合性化合物及聚合引发剂,其中,

树脂为具有来自选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种的结构单元的聚合物,

聚合引发剂包含式(1)表示的化合物,

式(1)中,Ra1及Ra2分别独立地表示Ra11、ORa11、CORa11、SRa11、CONRa12Ra13或CN,

Ra11、Ra12及Ra13分别独立地表示氢原子、碳数1~20的烷基、碳数6~30的芳基、碳数7~30的芳烷基或碳数2~20的杂环基,

Ra11、Ra12或Ra13表示的基团的氢原子可以被ORa21、CORa21、SRa21、NRa22Ra23、CONRa22Ra23、-NRa22-ORa23、-N(CORa22)-OCORa23、-C(=N-ORa21)-Ra22、-C(=N-OCORa21)-Ra22、CN、卤原子或COOR21取代,

Ra21、Ra22及Ra23分别独立地表示氢原子、碳数1~20的烷基、碳数6~30的芳基、碳数7~30的芳烷基或碳数2~20的杂环基,

Ra21、Ra22或Ra23表示的基团的氢原子可以被CN、卤原子、羟基或羧基取代,

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