[发明专利]感光性树脂组合物有效
| 申请号: | 201210232353.5 | 申请日: | 2012-07-05 |
| 公开(公告)号: | CN102866584B | 公开(公告)日: | 2019-05-28 |
| 发明(设计)人: | 松浦龙一;河西裕 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/00 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 蒋亭 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
本发明为一种感光性树脂组合物,其包含树脂、聚合性化合物及聚合引发剂,其中,树脂为具有来自选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种的结构单元的聚合物,聚合引发剂包含式(1)表示的化合物。[式(1)中,Ra1及Ra2表示Ra11、ORa11、CORa11、SRa11、CONRa12Ra13或CN,Ra11、Ra12及Ra13表示氢原子或碳数1~20的烷基等,Ra3及Ra4表示Ra11等,s及t表示0~4的整数,L表示氧原子、硫原子、硒原子、CRa31Ra32、CO、NRa33或PRa34,Ra5表示羟基或羧基等。]。
技术领域
本发明涉及一种感光性树脂组合物。
背景技术
在近年来的液晶显示面板等中,为了形成光间隙材及外涂层,可使用感光性树脂组合物。作为这种感光性树脂组合物,已知有含有作为聚合引发剂的N-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亚胺的组合物(JP2008-181087-A)。
但是,在以往所提出的感光性树脂组合物中,所得的图案的宽度的曝光量依赖性(曝光边界(Exposure margin))有时不一定能够充分地满足。
发明内容
本发明包含以下的发明。
[1]一种感光性树脂组合物,其包含树脂、聚合性化合物及聚合引发剂,其中,
树脂为具有来自选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种的结构单元的聚合物,
聚合引发剂包含式(1)表示的化合物,
式(1)中,Ra1及Ra2分别独立地表示Ra11、ORa11、CORa11、SRa11、CONRa12Ra13或CN,
Ra11、Ra12及Ra13分别独立地表示氢原子、碳数1~20的烷基、碳数6~30的芳基、碳数7~30的芳烷基或碳数2~20的杂环基,
Ra11、Ra12或Ra13表示的基团的氢原子可以被ORa21、CORa21、SRa21、NRa22Ra23、CONRa22Ra23、-NRa22-ORa23、-N(CORa22)-OCORa23、-C(=N-ORa21)-Ra22、-C(=N-OCORa21)-Ra22、CN、卤原子或COOR21取代,
Ra21、Ra22及Ra23分别独立地表示氢原子、碳数1~20的烷基、碳数6~30的芳基、碳数7~30的芳烷基或碳数2~20的杂环基,
Ra21、Ra22或Ra23表示的基团的氢原子可以被CN、卤原子、羟基或羧基取代,
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