[发明专利]BGA封装器件芯片级失效定位夹具与方法有效
申请号: | 201210223341.6 | 申请日: | 2012-06-29 |
公开(公告)号: | CN102751202A | 公开(公告)日: | 2012-10-24 |
发明(设计)人: | 林晓玲;刘玉清 | 申请(专利权)人: | 工业和信息化部电子第五研究所 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/683 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 王茹;曾旻辉 |
地址: | 510610 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种BGA封装器件芯片级失效定位夹具,采用夹紧滑块来承载待定位的BGA封装器件,当夹紧滑块在底板的凹槽上滑动到合适的位置时,紧固螺钉固定夹紧滑块的位置,使器件牢固地被夹紧。由于夹紧滑块的位置可调,本夹具适用于各种尺寸的BGA封装器件,调节操作简便安全,被夹的器件芯片表面平整且不会被遮挡。本发明还公开了一种BGA封装器件芯片级失效定位方法,先确定器件的故障管脚并给故障管脚焊上电引线,再用上述夹具将器件夹紧,为电引线上电并控制电压,通过观察器件芯片表面发光像与器件表面光学反射像,确定失效点,完成失效定位。由于采用了上述夹具,本失效定位方法的失效点探测具有较高的效率和准确度。 | ||
搜索关键词: | bga 封装 器件 芯片级 失效 定位 夹具 方法 | ||
【主权项】:
一种BGA封装器件芯片级失效定位夹具,其特征在于,包括具有4条凹槽的底板、4块具有阶梯状承载台面的夹紧滑块、4个导向销钉和4个紧固螺钉,所述夹紧滑块位于所述底板的凹槽上,阶梯状承载台面用于承载待定位的BGA封装器件,且阶梯状承载台面的高度大于电引线的直径,所述夹紧滑块在所述导向销钉的辅助下沿着所述底板的凹槽滑动,使待定位的BGA封装器件被夹紧,所述紧固螺钉用于在此时固定所述夹紧滑块。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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