[发明专利]BGA封装器件芯片级失效定位夹具与方法有效
| 申请号: | 201210223341.6 | 申请日: | 2012-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN102751202A | 公开(公告)日: | 2012-10-24 |
| 发明(设计)人: | 林晓玲;刘玉清 | 申请(专利权)人: | 工业和信息化部电子第五研究所 |
| 主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/683 |
| 代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 王茹;曾旻辉 |
| 地址: | 510610 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | bga 封装 器件 芯片级 失效 定位 夹具 方法 | ||
1.一种BGA封装器件芯片级失效定位夹具,其特征在于,包括具有4条凹槽的底板、4块具有阶梯状承载台面的夹紧滑块、4个导向销钉和4个紧固螺钉,
所述夹紧滑块位于所述底板的凹槽上,阶梯状承载台面用于承载待定位的BGA封装器件,且阶梯状承载台面的高度大于电引线的直径,所述夹紧滑块在所述导向销钉的辅助下沿着所述底板的凹槽滑动,使待定位的BGA封装器件被夹紧,所述紧固螺钉用于在此时固定所述夹紧滑块。
2.根据权利要求1所述的BGA封装器件芯片级失效定位夹具,其特征在于,4条所述凹槽分布在所述底板的对角线上,每个所述夹紧滑块用于夹紧待定位BGA封装器件的一个角。
3.一种BGA封装器件芯片级失效定位方法,其特征在于,包括步骤:
确定芯片级失效的BGA器件的故障管脚;
为所述故障管脚焊接电引线;
采用权利要求1或2所述的BGA封装器件芯片级失效定位夹具将焊接电引线后的BGA封装器件夹紧,BGA封装器件的芯片表面暴露于光发射镜头下,所述电引线通过相邻夹紧滑块间的缝隙穿出;
为所述电引线加上电压,控制电压从0逐步增大到待定位BGA封装器件的电源电压;
观察每个电压偏置条件下,待定位BGA封装器件芯片表面的电致发光像,将该电致发光像与待定位BGA封装器件表面的光学反射像叠加并对比分析,剔除干扰点,确定异常光斑所在的位置为失效点部位。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





