[发明专利]主动元件及其制造方法无效
| 申请号： | 201210209111.4 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102751333A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张志榜;谢信弘 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/06;H01L21/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;鲍俊萍 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种主动元件及其制造方法。主动元件包括一缓冲层、一通道、一栅极、一栅绝缘层以及一源极与一漏极。缓冲层配置于一基板上，具有一定位区，其中缓冲层在定位区的部分的厚度大于在定位区以外的部分的厚度。通道配置于缓冲层上，且位于定位区。栅极位于通道上方，栅绝缘层则配置于通道与栅极之间。源极与漏极位于通道上方并电性连接通道。 | ||
| 搜索关键词： | 主动 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种主动元件，其特征在于，包括：一缓冲层，配置于一基板上，具有一定位区，其中该缓冲层在该定位区的部分的厚度大于在该定位区以外的部分的厚度；一通道，配置于该缓冲层上，且位于该定位区；一栅极，位于该通道上方；一栅绝缘层，配置于该通道与该栅极之间；以及一源极与一漏极，位于该通道上方并电性连接该通道。
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