[发明专利]保护图案化磁性材料的方法在审
| 申请号： | 201210208924.1 | 申请日： | 2012-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN102855887A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 范朝晖;徐源;胡家祯;轮湖公一;郭晓民 | 申请（专利权）人： | 希捷科技有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84;B82Y25/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 多个实施例披露了用于保护叠层的图案化磁性材料的方法，该方法包括：沉积惰性材料的连续薄膜，其中对于在其上沉积连续薄膜的图案化叠层的磁性材料，所述惰性材料呈惰性；并从连续薄膜形成中间界面薄层以保护非蚀刻的高浮雕磁岛的顶部和侧壁区域以及图案化叠层的磁膜蚀刻表面不受因暴露于空气而引起的损伤以及因与回填材料接触而引起的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 保护 图案 磁性材料 方法 | ||
【主权项】：
一种用于保护叠层的图案化磁性材料的方法，包括：沉积惰性材料的连续薄膜，对于正在其上沉积所述连续薄膜的图案化叠层的磁性材料，所述惰性材料呈惰性；以及从所述连续薄膜形成中间界面薄层，以保护非蚀刻的高浮雕磁岛的顶部和侧壁区域以及图案化叠层的磁膜蚀刻表面不受因暴露于空气而引起的损伤以及因与回填材料接触而引起的损伤。
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