[发明专利]飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法

摘要

飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法，选用石英玻璃作为样品材料；通过飞秒激光在其表面加工得到微透镜阵列弹坑；将已加工出的微透镜阵列弹坑放入氟化氢溶液中辅助刻蚀，即可完成微透镜阵列光束整形器的制备；本发明利用飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列，具有所制得的微透镜阵列形貌可控的优点。其中，透镜的形貌可以通过激光脉冲作用点的合理排列进行控制，透镜的焦距则可以通过激光参数进行调控；该方法能够实现高填充比、大面积微透镜阵列的高效率加工；而且所制备出的微透镜阵列能够简单、便捷的实现使高斯光束的空间光强均匀分布。

主权项

飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法，其特征在于，具体实施步骤如下：步骤一、选用石英玻璃作为样品材料；步骤二、选用脉冲宽度为30‑150fs、波长为325‑1200nm的超短脉冲激光，经一个显微物镜聚焦到固定在三维精密移动平台上的样品表面，显微物镜的数值孔径为03‑0.8；步骤三、根据所需微透镜阵列形貌，调整脉冲作用点的排列方式，矩形微透镜阵列则脉冲作用点按照矩形排列，六边形微透镜阵列则脉冲作用点按照三角形排列，三角形微透镜阵列则脉冲作用点按照六边形排列，控制飞秒激光单脉冲能量为10nJ‑5mJ，脉冲频率为10Hz‑100KHz，调整三维精密移动平台移动速率为0.1um/s‑6mm/s，从而控制飞秒加工时间的长短，得到微透镜阵列弹坑；步骤四、将已加工出的微透镜阵列弹坑放入氟化氢溶液中辅助刻蚀，氟化氢溶液体积浓度为5%‑15%，腐蚀时间为30‑150分钟；即可完成微透镜阵列光束整形器的制备。