[发明专利]飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法

权利要求书

1.飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法，其特征在于，具体实施步骤如下：

步骤一、选用石英玻璃作为样品材料；

步骤二、选用脉冲宽度为30-150fs、波长为325-1200nm的超短脉冲激光，经一个显微物镜聚焦到固定在三维精密移动平台上的样品表面，显微物镜的数值孔径为03-0.8；

步骤三、根据所需微透镜阵列形貌，调整脉冲作用点的排列方式，矩形微透镜阵列则脉冲作用点按照矩形排列，六边形微透镜阵列则脉冲作用点按照三角形排列，三角形微透镜阵列则脉冲作用点按照六边形排列，控制飞秒激光单脉冲能量为10nJ-5mJ，脉冲频率为10Hz-100KHz，调整三维精密移动平台移动速率为0.1um/s-6mm/s，从而控制飞秒加工时间的长短，得到微透镜阵列弹坑；

步骤四、将已加工出的微透镜阵列弹坑放入氟化氢溶液中辅助刻蚀，氟化氢溶液体积浓度为5%-15%，腐蚀时间为30-150分钟；即可完成微透镜阵列光束整形器的制备。

2.根据权利要求1所述的飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法，其特征在于，所述的步骤四所得的微透镜阵列中单个透镜参数为：直径D为30-120um，球冠高度h为5-22um；

3.根据权利要求1所述的飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法，其特征在于，所述的步骤三中脉冲作用点的排列方式包括三角形、矩形、六边形。