[发明专利]图像传感器

摘要

本发明涉及半导体技术领域，公开了一种图像传感器。本发明中，在图像传感器结构上直接制备包括第一介质材料和第二介质材料交替形成的周期性叠层结构的滤色结构，可以简化工艺，提高成品率，而且具有较高的滤色效率。采用ABAB...叠层作为滤色结构，可以通过选择适当的介质材料和周期实现对不同范围入射光的滤色，使滤色结构具有较高的滤色效率，并提高入射光的传输效率以及吸收效率。将滤色结构置于层间介质层中，在提供滤色的同时，进一步缩短了曝光过程中入射光在介质层中传播的光程，提高了曝光效率，使图像传感器具有更高的灵敏度。

主权项

一种图像传感器，其特征在于，包括多个像素区域，所述像素区域包括感光结构，在所述感光结构的垂直上方设置有滤色结构，该滤色结构包括第一介质材料和第二介质材料交替形成的周期性叠层结构，其中第一介质材料和第二介质材料的介电常数不同。