[发明专利]一种铜镓/铜铟镓管状阴极靶材的成型方法无效
| 申请号： | 201210203770.7 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102703862A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 马步洋;缑彦春;王彬 | 申请（专利权）人： | 江苏美特林科特殊合金有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/35;B22D37/00;B22D27/04;B22C9/24 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211153 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铜镓/铜铟镓管状阴极靶材的成型方法，该方法是将铜Cu、铟In、镓Ga原料按一定比例，次序装入真空感应熔炼炉内，在一定的真空条件下，加热到一定的温度熔化、精炼，真空感应的高真空熔炼及电磁搅拌，之后采用特殊设计的底浇注模具系统，急速冷却凝固成型。本发明工艺参数易于控制，产品成材率高，原料利用率高，最重要的是能得到纯度高，气体含量少，成分均匀，晶粒细小，致密度高的高质量铜镓/铜铟镓合金管状阴极靶材，在制备铜铟镓硒太阳能薄膜电池方面有实际的生产应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜铟镓 管状 阴极 成型 方法 | ||
【主权项】：
一种铜镓/铜铟镓管状阴极靶材的成型方法，其特征在于包括以下步骤：1）将铜块、铟块置于坩埚中，将镓置于合金加料仓；2）装料完成后，关闭炉门，开启真空泵机组，当炉内真空度小于10Pa时，开始加热，进入熔炼期，熔炼期真空度在1Pa以下，熔炼温度为800℃~1150℃，待料熔化至约占全部料的2/3时，开始通电烘模，烘模温度为200~400℃，烘模约半小时左右。
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