[发明专利]基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置

摘要

基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置属于超精密测量与超精密加工装备，该装置包括隔离平台、中间套筒和基座；隔离平台支撑负载对象，中间套筒支撑隔离平台，基座支撑中间套筒，基座放置在固定基础上，各部分之间采用磁浮与静压气浮复合作用的支撑方式；本发明利用静压气浮的大承载以及磁浮的负刚度特点，通过速度闭环控制方法使该隔振装置机构刚度的调节实现自动化，且对来自外界环境振动与负载扰动产生的内部振动有抑制作用。

主权项

一种基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，其特征在于所述装置由隔离平台(1)、中间套筒(2)和基座(3)构成；在基座(3)内配装带有环形气腔(13)的中间套筒(2)，在基座(3)内位于中间套筒(2)下方之间设有柱形气腔(12)，非接触式垂直位移传感器B(9)配装在柱形气腔(12)内，在基座(3)侧壁上设有与柱形气腔(12)连通的基座进气孔(10)；在中间套筒(2)上配置隔离平台(1)，在中间套筒(2)内侧壁上设置与隔离平台(1)相配合的内侧静压气浮节流孔(6)，外侧静压气浮节流孔(8)和中间套筒进气孔(11)设置在中间套筒(2)的外侧壁上，且外侧静压气浮节流孔(8)与基座(3)相配合，在中间套筒(2)底侧壁面和隔离平台(1)底侧壁面上分别相对配装电磁线圈(5)和永磁体(4)；在中间套筒(2)上端面配装非接触式垂直位移传感器A(7)。