[发明专利]基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置

权利要求书

1.一种基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，其特征在于所述装置由隔离平台(1)、中间套筒(2)和基座(3)构成；在基座(3)内配装带有环形气腔(13)的中间套筒(2)，在基座(3)内位于中间套筒(2)下方之间设有柱形气腔(12)，非接触式垂直位移传感器B(9)配装在柱形气腔(12)内，在基座(3)侧壁上设有与柱形气腔(12)连通的基座进气孔(10)；在中间套筒(2)上配置隔离平台(1)，在中间套筒(2)内侧壁上设置与隔离平台(1)相配合的内侧静压气浮节流孔(6)，外侧静压气浮节流孔(8)和中间套筒进气孔(11)设置在中间套筒(2)的外侧壁上，且外侧静压气浮节流孔(8)与基座(3)相配合，在中间套筒(2)底侧壁面和隔离平台(1)底侧壁面上分别相对配装电磁线圈(5)和永磁体(4)；在中间套筒(2)上端面配装非接触式垂直位移传感器A(7)。

2.根据权利要求1所述的基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，其特征在于非接触式垂直位移传感器A(7)和非接触式垂直位移传感器B(9)包括光学位移传感器、涡流位移传感器或电容位移传感器。

3.根据权利要求1所述的基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，其特征在于永磁体(4)采用铷铁硼材料。

4.根据权利要求1所述的基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，其特征在于经中间套筒进气孔(11)进入中间套筒(2)的环形气腔(13)内的高压气体压强为0.4～0.6MPa。

5.根据权利要求1所述的基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，其特征在于隔离平台(1)与中间套筒(2)和中间套筒(2)与基座(3)之间静压气浮形成的气膜厚度为7μm。