[发明专利]高精度光学元件面形检测工装夹具有效
| 申请号： | 201210199493.7 | 申请日： | 2012-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102721389A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 田伟;王汝冬;王平;王立朋;隋永新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 高精度光学元件面形检测工装夹具，特别涉及于深紫外投影光刻物镜系统光学元件纳米级面形检测的工装夹具。本发明目的在于解决深紫外投影光刻物镜系统光学元件纳米级面形检测与光学加工中面形精修工艺迭代过程中的高精度重复装卡问题，本发明工装夹具，包括：夹具框架，三个微分调节头，三个主支撑单元，被检测镜片，九个辅助支撑单元，三个主支撑单元呈120°分布，九个辅助支撑单元与三个主支撑单元呈30°分布，夹具框架通过线切割加工出三个挠性狭缝，挠性狭缝将夹具框架分割为外框和三个呈120°均布的挠性内环，三个微分头调节器通过微分头调节器锁紧螺钉分别固定于夹具框架的三个挠性内环上，本装置具有高精度高重复性的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 高精度 光学 元件 检测 工装 夹具 | ||
【主权项】：
高精度光学元件面形检测工装夹具，包括：夹具框架（1）、三个微分调节头（2）、三个主支撑单元（3）和九个辅助支撑单元（5），三个主支撑单元（3）120°分布，九个辅助支撑单元（5）与三个主支撑单元（3）30°分布，夹具框架（1）通过线切割加工出三个挠性狭缝（1‑1），挠性狭缝（1‑1）将夹具框架（1）分割为外框（1‑2）和三个120°均布的挠性内环（1‑3），三个微分头调节器（2）通过微分头调节器锁紧螺钉（15）分别固定于夹具框架（1）的三个挠性内环（1‑3）上，三个挠性内环（1‑3）加工环形突出支撑体（1‑4）。
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