[发明专利]高精度光学元件面形检测工装夹具有效
| 申请号： | 201210199493.7 | 申请日： | 2012-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102721389A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 田伟;王汝冬;王平;王立朋;隋永新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高精度 光学 元件 检测 工装 夹具 | ||
1.高精度光学元件面形检测工装夹具，包括：夹具框架（1）、三个微分调节头（2）、三个主支撑单元（3）和九个辅助支撑单元（5），三个主支撑单元（3）120°分布，九个辅助支撑单元（5）与三个主支撑单元（3）30°分布，夹具框架（1）通过线切割加工出三个挠性狭缝（1-1），挠性狭缝（1-1）将夹具框架（1）分割为外框（1-2）和三个120°均布的挠性内环（1-3），三个微分头调节器（2）通过微分头调节器锁紧螺钉（15）分别固定于夹具框架（1）的三个挠性内环（1-3）上，三个挠性内环（1-3）加工环形突出支撑体（1-4）。
2.根据权利要求1所述的高精度光学元件面形检测工装夹具，其特征在于：主支撑单元（3）由Hooke铰链支撑脚（6）和主支撑单元支撑板（9）组成，Hooke铰链支撑脚（6）通过微过盈配合安装到主支撑单元支撑板（9）的安装孔（9-1）中，主支撑单元支撑板（9）通过主支撑单元固定螺钉（8）与支撑体（1-4）上螺纹孔连接固紧，外框（1-2）底部加工九个卡槽（1-5），辅助支撑单元（5）置于卡槽（1-5）内且通过电机座固定螺钉（7）固定。
3.根据权利要求1所述高精度光学元件面形检测工装夹具，其特征在于：辅助支撑单元（5）由直线调节电机（13）、压力弹簧（12）、钢球（11）、电机座（14）和电机座锁紧螺钉（10）组成，直线调节电机（13）通过电机座锁紧螺钉（10）固定于电机座（14）中，压力弹簧（12）一端与直线调节电机（13）的直线输出端连接，压力弹簧（12）另一端与钢球（11）连接。
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