[发明专利]一种用于CCD调制传递函数测试的设备及其测试方法有效
| 申请号： | 201210194672.1 | 申请日： | 2012-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN102735429A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 孙景旭;任建伟;万志;刘则洵;李葆勇;李宪圣;李豫东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 田春梅 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种用于CCD调制传递函数测试的设备及其测试方法涉及CCD成像质量检测领域，该设备包括卤素灯光源室、单色仪、积分球装置、分划板部、大数值孔径显微物镜装置、CCD三维调整架和待测CCD。本发明利用单色仪与积分球输出均匀的单色光，并经过大数值孔径显微物镜成像，将特定空间频率的分划板成像到CCD成像电子学系统的光敏面上，根据图像采集得到的黑白条纹的数码值进而计算出CCD调制传递函数。本发明使用白光及各谱段单色光对CCD调制传递函数进行评价，能够对不同景物通过CCD后的成像质量进行全面分析评价；利用步进电机对分划板及CCD进行多维调节，减轻了CCD调制传递函数测试的工作量；结构紧凑，操作方便简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 ccd 调制 传递函数 测试 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种用于CCD调制传递函数测试的设备，包括卤素灯光源室（1）、单色仪（2）、积分球装置（3）、分划板部（4）、大数值孔径显微物镜装置（5）、CCD三维调整架（6）和待测CCD（7）；其特征在于，卤素灯光源室（1）通过过渡板用螺钉与单色仪（2）连接，单色仪（2）通过过渡筒与积分球装置（3）连接；分划板部（4）安放在积分球装置（3）的后面，且分划板部（4）中的分划板（4‑2）的中心正对积分球装置（3）中积分球（3‑2）的球心；大数值孔径显微物镜装置（5）中的大数值孔径显微物镜（5‑3）安放在距离分划板（4‑2）50mm处，且分划板（4‑2）的中心在大数值孔径显微物镜（5‑3）的光轴上；通过调整CCD三维调整架（6）使得待测CCD（7）的光敏面位于大数值孔径显微物镜（5‑3）的焦点位置。
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