[发明专利]一种用于CCD调制传递函数测试的设备及其测试方法

权利要求书

1.一种用于CCD调制传递函数测试的设备，包括卤素灯光源室（1）、单色仪（2）、积分球装置（3）、分划板部（4）、大数值孔径显微物镜装置（5）、CCD三维调整架（6）和待测CCD（7）；其特征在于，卤素灯光源室（1）通过过渡板用螺钉与单色仪（2）连接，单色仪（2）通过过渡筒与积分球装置（3）连接；分划板部（4）安放在积分球装置（3）的后面，且分划板部（4）中的分划板（4-2）的中心正对积分球装置（3）中积分球（3-2）的球心；大数值孔径显微物镜装置（5）中的大数值孔径显微物镜（5-3）安放在距离分划板（4-2）50mm处，且分划板（4-2）的中心在大数值孔径显微物镜（5-3）的光轴上；通过调整CCD三维调整架（6）使得待测CCD（7）的光敏面位于大数值孔径显微物镜（5-3）的焦点位置。

2.基于权利要求1所述用于CCD调制传递函数测试的设备的测试方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

步骤一、卤素灯光源室（1）中卤钨灯光源（1-1）发出的光照入单色仪（2）的入射狭缝，经过单色仪（2）的光栅分光后，由单色仪（2）的出射狭缝发出白光或窄波段范围的单色光；

步骤二、由步骤一得到的白光或单色光经过积分球入口射入积分球（3-1），经积分球（3-2）进行漫反射后，由积分球（3-2）的出口发出均匀的白光或均匀的单色光；

步骤三、由步骤二得到的均匀的白光或单色光照明分划板（4-2），透过分划板（4-2）后的光，经过分划板（4-2）后面的大数值孔径显微物镜（5-3）将分划板（4-2）成像到待测CCD（7）的光敏面上；

步骤四、根据待测CCD（7）采集到的分划板（4-2）的图像，利用下面的CCD调制传递函数公式，计算得到CCD调制传递函数；CCD调制传递函数MTF公式如下：

MTF=1nΣi=1nVmax-1mΣi=1mVmin1nΣi=1nVmax+1mΣi=1mVmin;]]>

V‾max=1nΣi=1nVmax;]]>V‾min=1mΣi=1mVmin;]]>

其中，n为CCD极大值输出像元个数，m为CCD极小值输出像元个数；为输出信号中的空间的极大值输出的平均值，为输出信号中的空间的极小值输出的平均值。