[发明专利]直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据压缩方法

摘要

本发明公开了一种在直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据的压缩方法，每次读取N×N位图数据，以字为单位，同时进行N行位图数据进行压缩，压缩后数据依次为行起始标志、压缩后的数量、位图数据或位图压缩数据，位图压缩数据和起始标志是不会出现的N×N位图。本发明的压缩方法简单，速度快；压缩数据后的数据在传输中可以用行方式传输，速度宜控制。

主权项

一种在直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据的压缩方法，其特征在于：同时进行N行位图数据进行压缩，压缩后N×N位图数据，以字为单位，压缩后数据依次为行起始标志、压缩后的数量、位图数据或位图压缩数据；假设N×N=4×4；具体步骤如下：（1）读取4行位图数据，建立压缩缓冲区；（2）压缩入行起始标志HEX数0xA5A5，再压入0xFFFF；（3）取出4×4位图数据，组成16bit的数，计数值cnt清零；（4）全白检测，是计数加1，重复取出4×4位图数据作全白检测，直至不是全白，则压缩入0xAA00与计数值cnt的和；（5）全黑检测，是计数加1，重复取出4×4位图数据作全黑检测，直至不是全黑，则压缩入0x5500与计数值cnt的和；（6）把位图数据与上一个压缩入缓冲区的位图数据比较，不同则转下一个步骤；相同则计数值cnt加1，重复取出4×4位图数据作相同检测，直至是不相同，则压缩入0x5A00与计数值的和；（7）将此位图数据压缩入缓冲区；（8）重复步骤（3）～（7），直至4行数据检查完，用压入的数据量改写前项0xFFFF数据；（9）4行数据压缩完毕，依次向下扫描检查压缩图像数据，重复步骤（1）～（8），直至全部图像数据压缩完。