[发明专利]直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据压缩方法

权利要求书

1.一种在直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据的压缩方法，其特征在于：同时进行N行位图数据进行压缩，压缩后N×N位图数据，以字为单位，压缩后数据依次为行起始标志、压缩后的数量、位图数据或位图压缩数据；

假设N×N=4×4；

具体步骤如下：

（1）读取4行位图数据，建立压缩缓冲区；

（2）压缩入行起始标志HEX数0xA5A5，再压入0xFFFF；

（3）取出4×4位图数据，组成16bit的数，计数值cnt清零；

（4）全白检测，是计数加1，重复取出4×4位图数据作全白检测，直至不是全白，则压缩入0xAA00与计数值cnt的和；

（5）全黑检测，是计数加1，重复取出4×4位图数据作全黑检测，直至不是全黑，则压缩入0x5500与计数值cnt的和；

（6）把位图数据与上一个压缩入缓冲区的位图数据比较，不同则转下一个步骤；相同则计数值cnt加1，重复取出4×4位图数据作相同检测，直至是不相同，则压缩入0x5A00与计数值的和；

（7）将此位图数据压缩入缓冲区；

（8）重复步骤（3）～（7），直至4行数据检查完，用压入的数据量改写前项0xFFFF数据；

（9）4行数据压缩完毕，依次向下扫描检查压缩图像数据，重复步骤（1）～（8），直至全部图像数据压缩完。

2.根据权利要求1所述的在直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据的压缩方法，其特征在于：所述的N等于4或5。

3.根据权利要求1所述的在直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据的压缩方法，其特征在于：所述的位图压缩数据和起始标志是不会出现的N×N位图，不会出现的N×N位图可以选择用行或者用列编排。