[发明专利]晶体管、阵列基板及其制造方法、液晶面板和显示装置有效

专利信息
申请号: 201210185116.8 申请日: 2012-06-06
公开(公告)号: CN102738243A 公开(公告)日: 2012-10-17
发明(设计)人: 谢振宇;张文余;徐少颖;李田生;阎长江 申请(专利权)人: 北京京东方光电科技有限公司
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362;G02F1/1368;G09F9/35
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 郭红丽
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种晶体管、阵列基板及其制造方法、液晶面板和显示装置,所述晶体管为氧化物薄膜晶体管,其中包括氧化物半导体层(4)和栅绝缘层(3),其特征在于,所述栅绝缘层(3)包括有氮氧化硅材质的氮氧化硅层(9),该氮氧化硅层(9)贴靠于所述氧化物半导体层(4)。本发明能够有效地改善氧化物薄膜晶体管的特性。
搜索关键词: 晶体管 阵列 及其 制造 方法 液晶面板 显示装置
【主权项】:
一种氧化物薄膜晶体管,包括氧化物半导体层和栅绝缘层,其特征在于,所述栅绝缘层包括有氮氧化硅材质的氮氧化硅层,该氮氧化硅层贴靠于所述氧化物半导体层。
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