[发明专利]晶体管、阵列基板及其制造方法、液晶面板和显示装置有效
| 申请号: | 201210185116.8 | 申请日: | 2012-06-06 |
| 公开(公告)号: | CN102738243A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
| 发明(设计)人: | 谢振宇;张文余;徐少颖;李田生;阎长江 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362;G02F1/1368;G09F9/35 |
| 代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭红丽 |
| 地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种晶体管、阵列基板及其制造方法、液晶面板和显示装置,所述晶体管为氧化物薄膜晶体管,其中包括氧化物半导体层(4)和栅绝缘层(3),其特征在于,所述栅绝缘层(3)包括有氮氧化硅材质的氮氧化硅层(9),该氮氧化硅层(9)贴靠于所述氧化物半导体层(4)。本发明能够有效地改善氧化物薄膜晶体管的特性。 | ||
| 搜索关键词: | 晶体管 阵列 及其 制造 方法 液晶面板 显示装置 | ||
【主权项】:
一种氧化物薄膜晶体管,包括氧化物半导体层和栅绝缘层,其特征在于,所述栅绝缘层包括有氮氧化硅材质的氮氧化硅层,该氮氧化硅层贴靠于所述氧化物半导体层。
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