[发明专利]一种声表面波元件的制备方法无效
| 申请号： | 201210184716.2 | 申请日： | 2012-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN102694518A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 林波 | 申请（专利权）人： | 台州欧文电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 317525 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种声表面波元件的制备方法，属于声表面波技术领域。它解决了现有的声表面波制备方法良率不高的问题。本发明声表面波元件的制备方法，其包括步骤：S1：真空磁控溅射镀膜；真空磁控溅射镀膜时，真空度控制在1.2X10-7至2x10-7乇，加热温度最高为400℃，溅射速度为1.2um/min；S2：均匀涂感光胶；S3：光刻。本发明通过采用特殊工艺制备声表面元件，通过控制生产精度和生产环境使得声表面波元件的良品率在大规模生产时能达到95％以上，节约材料且便于大规模化推广和应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 元件 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种声表面波元件的制备方法，其特征在于：包括步骤：S1：真空磁控溅射镀膜；真空磁控溅射镀膜时，真空度控制在1.2X10‑7至2x10‑7乇，加热温度最高为400℃，溅射速度为1.2um/min；S2：均匀涂感光胶；S3：光刻。
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