[发明专利]压力传感器、振荡器、超声波传感器及测量方法有效
| 申请号： | 201210177138.X | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN103454018A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 王志玮;毛剑宏;张镭;唐德明 | 申请（专利权）人： | 上海丽恒光微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压力传感器、振荡器、超声波传感器及测量方法。压力传感器，包括在控制、读出电路衬底上依次层叠排列的第一极板、第二极板、第三极板、第四极板和第五极板，其中第一极板、第三极板和第四极板相对衬底固定，第一极板和第二极板相对且之间具有间隙，第二极板悬置在第一极板上方构成一对电容，第二极板和第三极板相对且具有间隙构成一对电容，第四极板和第五极板相对且具有间隙，第五极板悬置在第四极板上方构成一对电容，能够沿垂直于衬底表面方向移动。本发明通过在电容式压力传感器中设置多个电容，并且在多个电容中设置了正向变化的电容和反向变化的电容，从而提高了精确度，并使得电容值的变化更加敏感，可测量的范围更大。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 振荡器 超声波传感器 测量方法 | ||
【主权项】：
一种压力传感器，其特征在于，包括在控制、读出电路衬底上依次层叠排列的第一极板、第二极板、第三极板、第四极板和第五极板，其中第一极板、第三极板和第四极板相对衬底固定，第一极板和第二极板相对且之间具有间隙，第二极板悬置在第一极板上方构成一对电容，第二极板和第三极板相对且具有间隙构成一对电容，第四极板和第五极板相对且具有间隙，第五极板悬置在第四极板上方构成一对电容，能够沿垂直于衬底表面方向移动。
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