[发明专利]压力传感器、振荡器、超声波传感器及测量方法

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于，

包括在控制、读出电路衬底上依次层叠排列的第一极板、第二极板、第三极板、第四极板和第五极板，其中第一极板、第三极板和第四极板相对衬底固定，第一极板和第二极板相对且之间具有间隙，第二极板悬置在第一极板上方构成一对电容，第二极板和第三极板相对且具有间隙构成一对电容，第四极板和第五极板相对且具有间隙，第五极板悬置在第四极板上方构成一对电容，能够沿垂直于衬底表面方向移动。

2.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，在不受外力的自然状态下，第二极板和第三极板之间的间隙小于第一极板和第二极板之间的间隙，且第二极板和第三极板之间的间隙小于第四极板和第五极板之间的间隙。

3.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，第三极板和第四极板之间具有第一绝缘介质层。

4.如权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，第二极板和第五极板的材料为锗硅，所述第一绝缘介质层的材料为含硅介电质材料，包括氧化硅、氮化硅、氢氧化硅和碳氢氧化硅。

5.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，第二极板和第五极板通过与衬底垂直的连接柱或者连接带相连。

6.如权利要求5所述的压力传感器，第二极板、第五极板及连接柱或连接带的结合体的一个剖面为工字型。

7.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述第一极板为复合层结构，包括铝层和位于铝层上的钛层。

8.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，还包括第一密封环、第二密封环、第三密封环，第一密封环位于衬底上，第二密封环位于第二极板外围，第三电极的边缘搭接在第二密封环上，第三密封环位于第四极板和第五极板之间，且位于第四极板的边缘上，第一极板、第三极板、第四极板、第五极板、第一密封环和第二密封环、第三密封环共同构成一个空腔。

9.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述第二密封环与第二电极在同一工艺步骤中形成，其材质相同，且之间具有间隔使其不相连。

10.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，在第五极板上具有第二绝缘介质层，在所述第二绝缘介质层上具有第六极板。

11.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，在第一极板下方的衬底中包括MOS器件或电路。

12.一种压力传感器，其特征在于，其包括在衬底上依次层叠排列的第二极板、第三极板、第四极板和第五极板，其中第二极板和第三极板相对且具有间隙构成一对电容，第四极板和第五极板相对且具有间隙构成一对电容，第三极板和第四极板相对衬底固定，第二极板和第五极板固定相连并且能够同时沿垂直于衬底表面方向移动。

13.一种压力传感器，其特征在于，包括在衬底上依次层叠排列的第一极板、第二极板、第三极板、第四极板和按压层，其中第一极板和第二极板相对且之间具有间隙构成一对电容，第二极板和第三极板相对且具有间隙构成一对电容，第三极板和第四极板相对衬底固定，第二极板和按压层固定相连并且能够同时沿垂直于衬底表面方向移动。

14.一种振荡器，其特征在于，包括在衬底上依次层叠排列的第一极板、第二极板、第三极板、第四极板和第五极板，其中第一极板和第二极板相对且之间具有间隙，第二极板悬置在第一极板上方构成一对电容，第二极板和第三极板相对且具有间隙构成一对电容，第四极板和第五极板相对且具有间隙，第五极板悬置在第四极板上方构成一对电容，第一极板、第三极板和第四极板相对衬底固定，第二极板和第五极板固定相连并且能够同时沿垂直于衬底表面方向移动，当给第二极板和第三极板施加交变电压，则第二极板振荡。

15.如权利要求14所述的振荡器，其特征在于，第二极板和第三极板之间的间隙小于第一极板和第二极板之间的间隙，且第二极板和第三极板之间的间隙小于第四极板和第五极板之间的间隙。