[发明专利]探针针压设定方法以及应用该方法的点测方法与系统

摘要

本发明涉及一种探针针压设定方法，是在探针与待测物相对近接位移而电性接触的过程中，通过判断一与探针电连接的针压检测单元的跨电压是否到达一预定的阈值，来决定是否停止探针与该待测物继续近接位移，以确保探针能以适当的针压与待测物确实电性接触。其中，该针压检测单元具有一升压元件以及一与该升压元件并联的探针连接线路，该探针连接线路具有二接点，分别电性耦接用于点测该待测物的二探针。本发明还同时公开了一种应用前述针压设定方法的点测方法与点测系统，可快速且确实地设定针压，以利待测物测试作业的进行。

主权项

一种探针针压设定方法，其特征在于包含有下列步骤：a)使一第一探针与一第二探针间隔对应一待测物，其中所述第一探针与所述第二探针分别电性耦接至一针压检测电路的一第一接点与一第二接点，所述针压检测电路具有一电源以及与所述电源电连接的一针压检测单元，所述针压检测单元包含有一升压元件以及与所述升压元件并联的一探针连接线路，所述探针连接线路具有所述第一与第二接点；b)使所述待测物与所述第一及第二探针相对近接位移，使所述待测物能与所述第一与第二探针接触而彼此电连接；c)在步骤b)进行时，撷取所述针压检测单元的跨电压；d)通过判断所述针压检测单元的跨电压是否到达一预定的阈值，决定是否停止所述待测物与所述第一及第二探针相对近接位移。