[发明专利]探针针压设定方法以及应用该方法的点测方法与系统

权利要求书

1.一种探针针压设定方法，其特征在于包含有下列步骤：

a)使一第一探针与一第二探针间隔对应一待测物，其中所述第一探针与所述第二探针分别电性耦接至一针压检测电路的一第一接点与一第二接点，所述针压检测电路具有一电源以及与所述电源电连接的一针压检测单元，所述针压检测单元包含有一升压元件以及与所述升压元件并联的一探针连接线路，所述探针连接线路具有所述第一与第二接点；

b)使所述待测物与所述第一及第二探针相对近接位移，使所述待测物能与所述第一与第二探针接触而彼此电连接；

c)在步骤b)进行时，撷取所述针压检测单元的跨电压；

d)通过判断所述针压检测单元的跨电压是否到达一预定的阈值，决定是否停止所述待测物与所述第一及第二探针相对近接位移。

2.如权利要求1所述的探针针压设定方法，其特征在于：所述针压检测电路还包含有一与所述电源电连接并与所述针压检测单元串联的分压元件。

3.如权利要求2所述的探针针压设定方法，其特征在于：所述分压元件的电阻值小于所述针压检测单元的升压元件的电阻值。

4.如权利要求1所述的探针针压设定方法，其特征在于：所述针压检测电路还包含有一第一开关以及一第二开关，所述第一开关的一端与所述第一探针电连接，另一端能切换至与所述第一接点电连接；所述第二开关的一端与所述第二探针电连接，另一端能切换至与所述第二接点电连接。

5.如权利要求1所述的探针针压设定方法，其特征在于：在步骤c)中，为通过一与所述针压检测电路电连接的信号转换器来撷取所述针压检测单元的跨电压。

6.如权利要求1所述的探针针压设定方法，其特征在于：在步骤a)中，所述待测物承置于一升降载台，所述第一与第二探针分别对应于所述待测物的上方；在步骤b)中，为通过所述升降载台的上升达到使所述待测物与所述第一及第二探针相对近接位移；而在步骤d)中，当所述针压检测单元的跨电压到达所述预定的阈值时，则停止所述升降载台上升。

7.如权利要求6所述的探针针压设定方法，其特征在于：在步骤d)中，当判断所述针压检测单元的跨电压尚未到达所述预定的阈值时，还包含有下列步骤：

通过判断所述升降载台是否上升到达一预定的最高位置，决定是否停止所述升降载台上升。

8.一种点测方法，其特征在于包含有下列步骤：

a)使一第一探针与一第二探针间隔对应一待测物，其中所述第一探针与所述第二探针分别电性耦接至一针压检测电路的一第一接点与一第二接点；所述针压检测电路具有一电源以及与所述电源电连接的一针压检测单元，所述针压检测单元包含有一升压元件、一与所述升压元件并联且具有所述第一与二接点的探针连接线路，以及一第一开关与一第二开关，所述第一开关使所述第一探针能切换地与所述探针连接线路的第一接点或一测试电路的一第一接点电性耦接，而所述第二开关使所述第二探针能切换地与所述探针连接线路的第二接点或所述测试电路的一第二接点电性耦接；

b)使所述待测物与所述第一及第二探针相对近接位移，使所述待测物能与所述第一与第二探针接触而彼此电连接；

c)在步骤b)进行时，撷取所述针压检测单元的跨电压；

d)在所述针压检测单元的跨电压到达一预定的阈值时，停止所述待测物与所述第一及第二探针相对近接位移；

e)切换所述第一与第二开关，使所述第一探针及第二探针分别与所述测试电路的第一接点与第二接点电性耦接，以利所述测试电路进行测试作业。

9.如权利要求8所述的点测方法，其特征在于：所述针压检测电路还包含有一与所述电源电连接且与所述针压检测单元串联的分压元件。

10.如权利要求8所述的点测方法，其特征在于：在步骤c)中，为通过一与所述针压检测电路电连接的信号转换器来撷取所述针压检测单元的跨电压。

11.如权利要求8所述的点测方法，其特征在于：在步骤a)中，所述待测物承置于一升降载台，而所述第一与第二探针分别对应于所述待测物的上方；在步骤b)中，为通过所述升降载台的上升使所述待测物与所述第一与第二探针相对近接位移；而在步骤d)中，当所述针压检测单元的跨电压到达所述预定的阈值时，则停止所述升降载台上升。