[发明专利]混合集成激光器及其制备方法无效
申请号: | 201210175247.8 | 申请日: | 2012-05-30 |
公开(公告)号: | CN102684072A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 郭霞;武华;韩明夫 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | H01S5/40 | 分类号: | H01S5/40;H01S5/183 |
代理公司: | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人: | 王秀丽 |
地址: | 100022 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种混合集成激光器,涉及光电子技术领域,具体包括依次纵向层叠的衬底1、将光实现90度偏转功能的光耦合器2、键合层3和垂直腔面发射激光光源4,本发明所要解决的技术问题是提供一种混合集成激光器及其制备方法,针对现有硅基混合激光器在面向实用化遇到的问题,有效实现功耗低、集成度高和实用化。 | ||
搜索关键词: | 混合 集成 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种混合集成激光器,包括依次纵向层叠的衬底1,其特征在于,还包括将光实现90度偏转功能的光耦合器2、键合层3和垂直腔面发射激光光源4。
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