[发明专利]重叠标记及检查对准度的方法有效
| 申请号： | 201210172621.9 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN103208483A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 周建明;桂格·希克曼 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中国台湾桃园县龟山*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种重叠标记及检查对准度的方法。该重叠标记用以检查晶圆上的前层与后层之间的对准度，包括为前层的一部分的前图形，以及为一图案化光阻层的一部分的后图形，此图案化光阻层是用以定义后层。前图形具有两个平行的相对边，其中每一边与晶圆的X轴夹锐角α。后图形亦具有两个平行的相对边，其中每一边与晶圆的X轴夹锐角α。 | ||
| 搜索关键词： | 重叠 标记 检查 对准 方法 | ||
【主权项】：
一种重叠标记，用以检查一晶圆上的一前层与一后层之间的对准度，包括：至少一前图形，为该前层的一部分，具有两个平行的相对边，其中每一边与该晶圆的X轴形成一锐角α；以及至少一后图形，为一图案化光阻层的一部分，该图案化光阻层用以定义该后层，且该后图形具有两个平行的相对边，其中每一边与该晶圆的该X轴形成该锐角α。
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