[发明专利]重叠标记及检查对准度的方法

权利要求书

1.一种重叠标记，用以检查一晶圆上的一前层与一后层之间的对准度，包括：

至少一前图形，为该前层的一部分，具有两个平行的相对边，其中每一边与该晶圆的X轴形成一锐角α；以及

至少一后图形，为一图案化光阻层的一部分，该图案化光阻层用以定义该后层，且该后图形具有两个平行的相对边，其中每一边与该晶圆的该X轴形成该锐角α。

2.根据权利要求1所述的重叠标记，其中该至少一前图形与该至少一后图形中的至少一者具有指向为该锐角α的长条形状。

3.根据权利要求1所述的重叠标记，其中：

该至少一前图形包括多个前图形；或者，

该至少一后图形包括多个后图形；或者，

该至少一前图形包括多个前图形，且该至少一后图形包括多个后图形。

4.根据权利要求3所述的重叠标记，其中：

该至少一前图形包括两个前图形，该些前图形包括一第一图形以及一第二图形，

该至少一后图形包括两个后图形，该些后图形包括一第三图形以及一第四图形，

该第一图形以及该第三图形成对地配置，以及

该第二图形以及该第四图形成对地配置。

5.根据权利要求4所述的重叠标记，其中该第三图形以及该第四图形配置于该第一图形以及该第二图形之间。

6.一种检查对准度的方法，用以检查一晶圆上的一前层与一后层之间的对准度，包括：

提供权利要求1所述的重叠标记；以及

在沿着垂直于该至少一后图形的平行的相对边的方向上，求出该至少一后图形自一预定位置的一偏移ΔL，该预定位置为该至少一后图形在没有重叠误差产生时所在的位置。

7.根据权利要求6所述的检查对准度的方法，还包括：自该偏移ΔL计算一X方向重叠误差为ΔL·sinα，以及一Y方向重叠误差为ΔL·cosα。

8.根据权利要求6所述的检查对准度的方法，其中该至少一前图形与该至少一后图形中的至少一者具有指向为该锐角α的长条形状。

9.根据权利要求6所述的检查对准度的方法，其中：

该至少一前图形包括多个前图形；或者，

该至少一后图形包括多个后图形；或者，

该至少一前图形包括多个前图形，且该至少一后图形包括多个后图形。

10.根据权利要求9所述的检查对准度的方法，其中：

该至少一前图形包括两个前图形，该些前图形包括一第一图形以及一第二图形，

该至少一后图形包括两个后图形，该些后图形包括一第三图形以及一第四图形，

该第一图形以及该第三图形成对地配置，以及

该第二图形以及该第四图形成对地配置。

11.根据权利要求10所述的检查对准度的方法，其中该第三图形以及该第四图形配置于该第一图形以及该第二图形之间。