[发明专利]一种新型集成波导型光隔离器及其制备工艺无效
| 申请号： | 201210168741.1 | 申请日： | 2012-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN102674827A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 杨树明;张坤;李磊;韩枫;胡庆杰;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C04B35/40 | 分类号： | C04B35/40;C04B35/622;G02B6/136 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种新型集成波导型光隔离器及其制备工艺。光隔离器与激光器一起使用，起到保护激光器的作用。所研制的集成波导型光隔离器基于铈-钇铁石榴石（CeYIG）薄膜，通过匀胶、前烘、曝光、显影、坚膜、湿法刻蚀和去胶等工艺步骤完成磁光薄膜的制备，然后通过外加磁场实现光隔离器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 集成 波导 隔离器 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
光隔离器用CeYIG陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)将氧化铈（CeO2）、氧化钇（Y2O3）、氧化铁（Fe2O3）粉末称量后，按摩尔比1∶1∶2.5的比例均匀混合后放入球磨罐中混合球磨；2)球磨后进行烘干煅烧；3)二次球磨、并烘干煅烧；4)研磨过筛再加粘合剂研磨造粒并放入压靶模具中压制成型并烧结。
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