[发明专利]膜体声波谐振器、滤波器、双工器和模块无效
| 申请号： | 201210165066.7 | 申请日： | 2012-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN102801400A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 原基扬;堤润 | 申请（专利权）人： | 太阳诱电株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H9/46 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;张旭东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及膜体声波谐振器、滤波器、双工器和模块。膜体声波谐振器包括：基板；设置在所述基板上的下部电极；设置在所述下部电极上的压电隔膜；以及设置在所述压电隔膜上的上部电极，其中：所述下部电极和所述上部电极中的至少一个具有位于谐振区域的边缘处的具有比所述谐振区域的中央部分的厚度更厚的厚度的厚隔膜区域，所述谐振区域是所述下部电极和所述上部电极隔着所述压电隔膜彼此面对的区域；并且所述厚隔膜区域的宽度小于在与所述压电隔膜的厚度方向相交叉的方向上传播的声波的波长。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 滤波器 双工器 模块 | ||
【主权项】：
一种膜体声波谐振器，所述膜体声波谐振器包括：基板；设置在所述基板上的下部电极；设置在所述下部电极上的压电隔膜；以及设置在所述压电隔膜上的上部电极，其中：所述下部电极和所述上部电极中的至少一个具有位于谐振区域的边缘处的具有比所述谐振区域的中央部分的厚度更厚的厚度的厚隔膜区域，所述谐振区域是所述下部电极和所述上部电极隔着所述压电隔膜彼此面对的区域；并且所述厚隔膜区域的宽度小于在与所述压电隔膜的厚度方向相交叉的方向上传播的声波的波长。
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