[发明专利]基于光源调制的掩模预对准系统及预对准方法有效
| 申请号： | 201210159466.7 | 申请日： | 2012-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN103425005A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 唐文力;王海江;王丽 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于光源调制的掩模预对准系统，包括：光源单元，用于为该系统提供预对准光束；至少一光源内调制单元，用于调制该对准光束；掩模板及位于该掩模板上的标记；一四象限传感器单元，用于接收该调制后对准光束照射该标记后的光强信号；一信号采集调理解调单元，用于采集该光强信号；一掩模板运动及控制系统，根据该光强信号调整该掩模板的位置。本发明同时公开一种基于光源调制的掩模预对准方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光源 调制 掩模预 对准 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于光源调制的掩模预对准系统，其特征在于，包括：光源单元，用于为所述系统提供预对准光束；至少一光源内调制单元，用于调制所述对准光束；掩模板及位于所述掩模板上的标记；一四象限传感器单元，用于接收所述调制后对准光束照射所述标记后的光强信号；一信号采集调理解调单元，用于采集所述光强信号；一掩模板运动及控制系统，根据所述光强信号调整所述掩模板的位置。
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