[发明专利]基于光源调制的掩模预对准系统及预对准方法

权利要求书

1.一种基于光源调制的掩模预对准系统，其特征在于，包括：

光源单元，用于为所述系统提供预对准光束；

至少一光源内调制单元，用于调制所述对准光束；

掩模板及位于所述掩模板上的标记；

一四象限传感器单元，用于接收所述调制后对准光束照射所述标记后的光强信号；

一信号采集调理解调单元，用于采集所述光强信号；

一掩模板运动及控制系统，根据所述光强信号调整所述掩模板的位置。

2.如权利要求1所述的基于光源调制的掩模预对准系统，其特征在于，所述光源单元包括两个光源，所述光源为单色发光二极管。

3.如权利要求1所述的基于光源调制的掩模预对准系统，其特征在于，所述掩模板不透光，所述标记透光。

4.如权利要求1所述的基于光源调制的掩模预对准系统，其特征在于，所述光源内调制单元由光源驱动及调制电路组成。

5.如权利要求4所述的基于光源调制的掩模预对准系统，其特征在于，所述光源内调制单元的调制电路包括一调制信号与该调制信号串联的一电容、电感和偏置电流。

6.如权利要求5所述的基于光源调制的掩模预对准系统，其特征在于，所述偏置电流略低于所述光源模块的光源的阈值电流。

7.如权利要求1所述的基于光源调制的掩模预对准系统，其特征在于，所述信号采集调理解调单元包括电流转电压模块、模拟带通滤波及信号放大模块、信号解调模块、滤波模块以及归一化模块。

8.如权利要求7所述的基于光源调制的掩模预对准系统，其特征在于，所述归一化模块包括两个加法器以及一个减法器，所述加法器用于将信号叠加，所述减法器用于实现信号归一化处理。

9.如权利要求1所述的基于光源调制的掩模预对准系统，其特征在于，所述掩模板运动及控制系统包括板叉、板叉传动系统以及板叉运动控制系统。

10.如权利要求9所述的基于光源调制的掩模预对准系统，其特征在于，所述板叉传动系统以及板叉运动控制系统包括x、y向精密丝杠及导轨，Z向升降平台，Rz向转台，x、y向绝对值编码器，x、y 、Z、Rz 向驱动电机及其驱动器，运动控制器，所述掩模板吸附于所述板叉上，所述板叉在所述运动控制器控制下，经所述x 、 y 向驱动电机驱动，实现沿 x 、 y 向精密导轨平移运动，以及在Z向升降平台上升降运动，以及沿Rz向旋转。

11.一种基于光源调制的掩模预对准方法，其特征在于，包括：对光源的出射光束进行调制，利用所述调制光束照射位于掩模板上的标记，接收所述调制后对准光束照射所述标记后的光强信号，采集所述光强信号并进行调理解调，根据所述调理解调后的光强信号调整所述掩模板的位置。

12.如权利要求11所述的基于光源调制的掩模预对准方法，其特征在于，所述调理解调的步骤包括：电流转电压、模拟带通滤波及信号放大、信号解调、滤波以及归一化处理。

13.如权利要求12所述的基于光源调制的掩模预对准方法，其特征在于，所述归一化处理包括将所述光强信号进行加法减法运算后归一化。