[发明专利]多晶硅薄膜检查方法及其装置

摘要

本发明提供多晶硅薄膜检查方法及其装置。能够光学观察多晶硅薄膜的表面的状态，来检查多晶硅薄膜的结晶状态。多晶硅薄膜检查装置的基板检查部具有：对在表面上形成了多晶硅薄膜的基板照射光的照明单元；拍摄从通过照明单元被照射了光的基板在第一方向上产生的第一一次衍射光的光学图像的第一摄像单元；拍摄从通过照明单元被照射了光的基板在第二方向上产生的第二一次衍射光的光学图像的第二摄像单元；对第一摄像单元拍摄第一一次衍射光的光学图像得到的信号和第二摄像单元拍摄第二一次衍射光的光学图像得到的信号进行处理，来判定在基板上形成的多晶硅膜的结晶状态的信号处理/判定单元。

主权项

一种多晶硅薄膜检查装置，其具备基板装载部、基板检查部、基板卸载部以及全体控制部，该多晶硅薄膜检查装置的特征在于，所述基板检查部具备：第一照明单元，其从第一方向对在表面上形成了多晶硅薄膜的基板照射第一波长的光；第二照明单元，其从第二方向对所述基板的通过所述第一照明单元被照射了所述第一波长的光的区域照射第二波长的光；第一摄像单元，其拍摄从所述基板在第三方向上产生的基于所述第一波长的光的第一一次衍射光的光学图像，所述基板通过所述第一照明单元和所述第二照明单元被照射了第一波长的光和所述第二波长的光；第二摄像单元，其拍摄从所述基板在第四方向上产生的基于所述第二波长的光的第二一次衍射光的光学图像，所述基板通过所述第一照明单元和所述第二照明单元被照射了第一波长的光和所述第二波长的光；以及信号处理/判定单元，其对通过所述第一摄像单元拍摄所述第一一次衍射光的光学图像而得的信号和通过所述第二摄像单元拍摄所述第二一次衍射光的光学图像而得的信号进行处理，判定在所述基板上形成的多晶硅膜的结晶的状态。