[发明专利]PECVD设备、载板视觉识别系统及方法

摘要

本发明提出了一种载板视觉识别系统及方法，其中该系统包括：载板，所述载板具有载板条，载板条设有作为位置特征点的通孔且载板条上具有用于放置晶片的晶片位置；光源设在载板下方；摄像头，所述摄像头设在载板上方并与位置特征点对应，用于利用从通孔透过的光拍摄位置特征点的位置；以及计算装置，所述计算装置与摄像头相连，用于将摄像头拍摄的位置特征点的位置与预设的标准特征点进行比较以识别位置特征点，其中在位置特征点被成功识别时根据所述位置特征点的位置计算该位置特征点所在的载板条上的晶片位置。该系统的特征点造型简单，视觉识别精度大大提升，且具有很好的抗噪效果，有利提高产能效率。本发明还提出了一种PECVD设备。

主权项

一种载板视觉识别系统，其特征在于，包括：载板，所述载板具有载板条，所述载板条设有作为位置特征点的通孔且所述载板条上具有用于放置晶片的晶片位置；光源，所述光源设在所述载板下方；摄像头，所述摄像头设在所述载板上方并与所述位置特征点对应，用于利用从所述通孔透过的光拍摄所述位置特征点的位置；和计算装置，所述计算装置与所述摄像头相连，用于将所述摄像头拍摄的所述位置特征点的位置与预设的标准特征点进行比较以识别所述位置特征点，其中在所述位置特征点被成功识别时根据所述位置特征点的位置计算该位置特征点所在的载板条上的晶片位置。