[发明专利]PECVD设备、载板视觉识别系统及方法

权利要求书

1.一种载板视觉识别系统，其特征在于，包括：

载板，所述载板具有载板条，所述载板条设有作为位置特征点的通孔且所述载板条上具有用于放置晶片的晶片位置；

光源，所述光源设在所述载板下方；

摄像头，所述摄像头设在所述载板上方并与所述位置特征点对应，用于利用从所述通孔透过的光拍摄所述位置特征点的位置；和

计算装置，所述计算装置与所述摄像头相连，用于将所述摄像头拍摄的所述位置特征点的位置与预设的标准特征点进行比较以识别所述位置特征点，其中在所述位置特征点被成功识别时根据所述位置特征点的位置计算该位置特征点所在的载板条上的晶片位置。

2.根据权利要求1所述的载板视觉识别系统，其特征在于，所述载板条为多个，每个所述载板条上具有多行晶片位置，所述计算装置内还预存有用于标志每个所述载板条上的晶片位置的行数的整形数组，其中所述计算装置在识别所述位置特征点之前读取所述位置特征点所在的载板条上的晶片位置的行数且根据所述晶片位置的行数确定用于与所述位置特征点相比较的标准特征点。

3.根据权利要求1所述的载板视觉识别系统，其特征在于，在所述位置特征点未被成功识别时，则控制所述摄像头再次拍摄，重新进行识别。

4.根据权利要求1所述的载板视觉识别系统，其特征在于，所述光源为白色平面光源。

5.根据权利要求4所述的载板视觉识别系统，其特征在于，还包括载板支架，所述光源可装卸地设置在所述载板支架上。

6.根据权利要求1所述的载板视觉识别系统，其特征在于，所述通孔分别设在所述载板条的两端。

7.根据权利要求6所述的载板视觉识别系统，其特征在于，所述载板条的每一端分别设有一个通孔。

8.根据权利要求1-7任一项所述的载板视觉识别系统，其特征在于，所述通孔为圆形通孔。

9.根据权利要求8所述的载板视觉识别系统，其特征在于，所述圆形通孔的孔径为6-8毫米。

10.一种等离子体增强化学气相沉积PECVD设备，其特征在于，包括：

根据权利要求1-9任一项所述的载板视觉识别系统；以及

晶片传输装置，所述晶片传输装置用于根据所述载板视觉识别系统确定的晶片位置将晶片放置到晶片位置上或将晶片从所述晶片位置上取下。

11.一种利用权利要求1-9中任一项所述载板视觉识别系统进行的载板视觉识别方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：控制所述摄像头利用从所述通孔透过的光拍摄所述位置特征点的位置；和

S2：通过所述计算装置将所述摄像头拍摄的所述位置特征点的位置与预设的标准特征点进行比较以识别所述位置特征点，其中在所述位置特征点被成功识别时根据所述位置特征点的位置计算该位置特征点所在的载板条上的晶片位置。

12.根据权利要求11所述的载板视觉识别方法，其特征在于，当所述载板视觉识别系统为根据权利要求2所述的载板视觉识别系统时，所述载板视觉识别方法还包括：

在识别所述位置特征点之前通过所述计算装置读取所述位置特征点所在的载板条上的晶片位置的行数，并根据所述晶片位置的行数确定用于与所述位置特征点相比较的标准特征点。

13.根据权利要求11所述的载板视觉识别方法，其特征在于，还包括以下步骤：

在所述位置特征点未被成功识别时，则控制所述摄像头再次拍摄，重新进行识别。