[发明专利]对柔性材料表面改性的卷对卷式辉光放电发生装置及工艺

摘要

本发明涉及一种对柔性材料表面改性的卷对卷式辉光放电发生装置及工艺，所述装置包括真空腔体，其内左右两侧设置用于缠绕待处理的纸张的两根卷轴和位于其间的地电极，高压电极置于绝缘介质板上表面与地电极平行对称放置；还包括通气口,对应开设于腔体两侧壁正对绝缘介质板与地电极之间的间隙；其工艺步骤：将缠绕在从动轴上的待处理纸张紧贴在地电极5上表面并穿过地电极5与玻璃板之间的间隙，固定于主动轴上；放电前抽真空，放电过程中，控制气体流量、放电气压、电压峰峰值、放电频率及放电时间在一这范围内，从而得到一定厚度的FC薄膜。本发明放电方式简单，设备成本低，放电气体体积小，气体流量低，能耗低；有利于连续化生产。

主权项

一种对柔性材料表面改性的卷对卷式辉光放电发生装置，其特征在于，它包括：真空腔体，其由不锈钢制腔体框架、绝缘介质板和不锈钢板构成；所述腔体框架上表面覆盖绝缘介质板，两者之间装设密封圈；所述腔体框架底面固定连接不锈钢底板；用于缠绕待处理的柔性材料的卷轴，分为主动轴和被动轴，分别装设于所述真空腔体内部靠两侧位置，并通过皮带轮传动；所述主动轴与电机相连；地电极和高压电极；所述地电极置于真空腔体内，固装于所述不锈钢底板上，平行放置于两根卷轴之间，与绝缘介质板之间留有大于0不大于15mm的间隙，所述间隙通过聚四氟乙烯垫圈的厚度进行调整；所述高压电极直接置于所述绝缘介质板上表面与所述地电极平行对称放置；一对以上通气口,对应分别开设于腔体两侧壁并正对绝缘介质板与地电极之间的间隙，分别用于原料气进入和反应后的尾气排出。