[发明专利]对柔性材料表面改性的卷对卷式辉光放电发生装置及工艺无效

专利信息
申请号: 201210150616.8 申请日: 2012-05-15
公开(公告)号: CN102677023A 公开(公告)日: 2012-09-19
发明(设计)人: 牛金海;刘东平 申请(专利权)人: 大连民族学院
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/54;D21H25/02
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 陈红燕
地址: 116600 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 柔性 材料 表面 改性 辉光 放电 发生 装置 工艺
【权利要求书】:

1.一种对柔性材料表面改性的卷对卷式辉光放电发生装置,其特征在于,它包括:

真空腔体,其由不锈钢制腔体框架、绝缘介质板和不锈钢板构成;所述腔体框架上表面覆盖绝缘介质板,两者之间装设密封圈;所述腔体框架底面固定连接不锈钢底板;

用于缠绕待处理的柔性材料的卷轴,分为主动轴和被动轴,分别装设于所述真空腔体内部靠两侧位置,并通过皮带轮传动;所述主动轴与电机相连;

地电极和高压电极;所述地电极置于真空腔体内,固装于所述不锈钢底板上,平行放置于两根卷轴之间,与绝缘介质板之间留有大于0不大于15mm的间隙,所述间隙通过聚四氟乙烯垫圈的厚度进行调整;所述高压电极直接置于所述绝缘介质板上表面与所述地电极平行对称放置;

一对以上通气口,对应分别开设于腔体两侧壁并正对绝缘介质板与地电极之间的间隙,分别用于原料气进入和反应后的尾气排出。

2.如权利要求1所述的装置,其特征在于:

所述绝缘介质板是玻璃板,或石英玻璃,或陶瓷板。

3.如权利要求1所述的装置,其特征在于:

所述地电极与高压电极之间的距离大于0不大于10mm。

4.一种采用如权利要求1所述的装置对柔性材料表面改性的卷对卷式辉光放电工艺,包括如下步骤:

(1)将缠绕在从动轴上的待处理柔性材料紧贴于地电极上表面并穿过地电极与绝缘介质之间的空隙,固定于主动轴上;

(2)放电前抽真空:将真空腔体内本底气压抽至50Pa以下;

(3)控制放电过程:采用C3F8为前驱物,通过质量流量控制器控制C3F8气体的流量为10-100sccm,放电气压为50-2000Pa;采用连续可调高压电源,电压的峰峰值为大于0小于20kV,频率为大于0小于20kHz;放电时间为30s-45min,沉积FC薄膜后的柔性材料表面接触角为120-145°。

5.根据权利要求4所述的工艺,其特征在于:

步骤(1)中所述柔性材料为宣纸;

步骤(3)中通过流量控制器控制C3F8的气体流速15-30sccm,放电电压2-8kV,放电气压为100-500Pa,放电频率1-5kHz,比能耗为2.1-13.3mW/cm2,放电时间2-15min时,沉积FC薄膜后的宣纸表面接触角为130-141°。

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