[发明专利]小型压电驻极体功能薄膜制备装置有效
| 申请号： | 201210150541.3 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN102683579A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 张晓青;张欣梧;娄可行;游琼 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | H01L41/26 | 分类号： | H01L41/26 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种小型压电驻极体功能薄膜制备装置，由两个子薄膜制备装置组合而成，所述子薄膜制备装置由金属座、腔体、加热板、模板、导管和真空泵组成，金属座的上部设有腔体，腔体一侧通过导管连接真空泵，腔体下部设有加热板，腔体顶部设有模板，模板上放置聚合物薄膜；模板由模板冲孔和模板基体组成，模板基体呈圆形结构，其上均匀分布有模板冲孔；两个子薄膜制备装置上下放置，位于其上的聚合物薄膜相对放置，位于两个子薄膜制备装置上的模板冲孔一一对应。本发明结构简单，模板单元可以方便灵活地更换，上下模板定位准确。用本发明设备制备出的微孔结构压电驻极体薄膜的机械结构稳定，微结构高度有序，薄膜性能分散性低，成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 小型 压电 驻极体 功能 薄膜 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种小型压电驻极体功能薄膜制备装置，其特征在于由两个子薄膜制备装置组合而成，所述子薄膜制备装置由金属座(6)、腔体(7)、加热板(8)、模板(9)、导管(10)和真空泵(11)组成，金属座(6)的上部设有腔体(7)，腔体(7)一侧通过导管(10)连接真空泵(11)，腔体(7)下部设有加热板(8)，腔体(7)顶部设有模板(9)，模板(9)上放置聚合物薄膜；模板(9)由模板冲孔(12)和模板基体(13)组成，模板基体(13)呈圆形结构，其上均匀分布有模板冲孔(12)；两个子薄膜制备装置上下放置，位于其上的聚合物薄膜相对放置，位于两个子薄膜制备装置上的模板冲孔(12)一一对应。
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