[发明专利]小型压电驻极体功能薄膜制备装置有效
| 申请号： | 201210150541.3 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN102683579A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 张晓青;张欣梧;娄可行;游琼 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | H01L41/26 | 分类号： | H01L41/26 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 小型 压电 驻极体 功能 薄膜 制备 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种小型压电驻极体功能薄膜制备装置，其特征在于由两个子薄膜制备装置组合而成，所述子薄膜制备装置由金属座(6)、腔体(7)、加热板(8)、模板(9)、导管(10)和真空泵(11)组成，金属座(6)的上部设有腔体(7)，腔体(7)一侧通过导管(10)连接真空泵(11)，腔体(7)下部设有加热板(8)，腔体(7)顶部设有模板(9)，模板(9)上放置聚合物薄膜；模板(9)由模板冲孔(12)和模板基体(13)组成，模板基体(13)呈圆形结构，其上均匀分布有模板冲孔(12)；两个子薄膜制备装置上下放置，位于其上的聚合物薄膜相对放置，位于两个子薄膜制备装置上的模板冲孔(12)一一对应。
2.根据权利要求1所述的小型压电驻极体功能薄膜制备装置，其特征在于利用本装置制备得到的压电驻极体由电极(1)和基体驻极体(2)组成，基体驻极体(2)的两面均设有电极(1)，一侧带正电，另一侧带负电，基体驻极体(2)内均匀分布有气体孔洞(4)，气体孔洞(4)靠近带正电的电极(1)一侧带有负极性空间电荷(5)，气体孔洞(4)靠近带负电的电极(1)一侧带有下极性空间电荷(3)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于同济大学，未经同济大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210150541.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
