[发明专利]导电薄膜、其制备方法及应用无效
| 申请号: | 201210148691.0 | 申请日: | 2012-05-14 |
| 公开(公告)号: | CN103422056A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
| 发明(设计)人: | 周明杰;王平;陈吉星;张振华 | 申请(专利权)人: | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/35;H05B33/10;H05B33/28 |
| 代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 一种导电薄膜,包括层叠的AZO层,金层及ReO3层,其中,所述AZO为掺铝的氧化锌。上述导电薄膜通过在AZO层的表面沉积金属金作为导电层,在金属金层表面沉积高功函的ReO3层制备导电薄膜,既能保持AZO层的良好的导电性能,又使导电薄膜的功函数得到了显著的提高。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。 | ||
| 搜索关键词: | 导电 薄膜 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
一种导电薄膜,其特征在于,包括层叠的AZO层,金层及ReO3层,其中AZO为掺铝的氧化锌。
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