[发明专利]一种双层直线电机驱动的XY运动平台

摘要

本发明提出一种双层直线电机驱动的XY运动平台，包括底板组件(1)、X轴直线电机组件(2)、运动平台组件(3)、Y轴直线电机组件(4)、底板(5)、X轴光栅尺读数头(6)、X轴精密运动导轨(8)、Y轴直线电机动子(9)、Y轴光栅尺读数头(12)、Y轴精密运动导轨(18)、X轴直线电机动子(19)等。本发明具有更大的驱动能力、更快的运动速度、更合理的直线电机解耦方式、更小的结构尺寸，适用在生产流水线等狭小空间进行的半导体集成芯片的高速封装作业。

主权项

一种双层直线电机驱动的XY运动平台，其特征在于，包括底板组件(1)、X轴直线电机组件(2)、运动平台组件(3)、Y轴直线电机组件(4)、底板(5)、X轴光栅尺读数头(6)、X轴光栅尺读数头角架(7)、X轴精密运动导轨(8)、Y轴直线电机动子(9)、Y轴直线电机定子及壳体(10)、Y轴直线电机安装座(11)、Y轴光栅尺读数头(12)、Y轴光栅尺读数头角架(13)、X轴光栅尺架(14)、X轴运动连接架(15)、Y轴光栅尺架(16)、Y轴运动连接架(17)、Y轴精密运动导轨(18)、X轴直线电机动子(19)、X轴直线电机安装座(20)、X轴直线电机定子及壳体(21)；其中，底板组件(1)包括底板(5)，在底板5(上)安装有X轴直线电机组件(2)、运动平台组件(3)、Y轴直线电机组件(4)，X轴直线电机组件(2)通过安装螺钉安装在底板(5)的X轴安装平面上，Y轴直线电机组件(4)通过安装螺钉安装在底板(5)的Y轴安装平面上；X轴光栅尺读数头角架(7)通过安装螺钉安装在底板(5)的X轴导轨的安装平面的外侧面；X轴光栅尺读数头(6)通过安装螺钉安装在X轴光栅尺读数头角架(7)的相应位置；X轴精密运动导轨(8)和Y轴精密运动导轨(18)均由固定轨和滑动轨组成，X轴精密运动导轨(8)中的固定轨通过安装螺钉安装在底板(5)的X轴导轨的安装平面上；X轴直线电机安装座(20)通过安装螺钉安装在底板(5)的X轴直线电机的安装平面上；X轴直线电机定子及壳体(21)通过安装螺钉安装在X轴直线电机安装座(20)的安装平面上；X轴直线电机动子(19)安装在X轴直线电机定子及壳体(21)内；X轴直线电机动子(19)的外露端上开有连接X轴运动连接架(15)的连接孔；X轴运动连接架(15)通过连接螺钉与X轴直线电机动子(19)相连接；X轴运动连接架(15)通过连接螺钉与X轴精密运动导轨(8)中的滑动轨相连接，可使X轴运动连接架(15)经X轴直线电机动子(19)的驱动沿X方向进行运动；通过安装螺钉将Y轴精密运动导轨(18)的固定轨安装在X轴运动连接架(15)的相应定位平面上；Y轴运动连接架(17)通过安装螺钉与Y轴精密运动导轨(18)的滑动轨相连接；Y轴运动连接架(17)的连接端通过安装螺钉与Y轴直线电机动子(9)相连接，可使Y轴运动连接架(17)经Y轴直线电机动子(9)的驱动沿Y方向进行运动；Y轴直线电机安装座(11)通过安装螺钉安装在底板(5)的Y轴直线电机安装平面上；Y轴直线电机定子及壳体(10)通过安装螺钉安装在Y轴直线电机安装座(11)的安装平面上；Y轴直线电机动子(9)安装在Y轴直线电机定子及壳体(10)内；Y 轴直线电机动子(9)的外露端上开有连接Y轴运动连接架(17)的连接孔。